Halvleder

BSLtech Semiconductor LØSNING

Udvikling af din ekspertise inden for halvlederindustrien kræver ofte renrum eller laminar flow-skabe med en høj ISO-klasse (ISO 5 eller højere). Arbejder du med UV-følsomme processer? Selv da leverer BSL det rette renrum. Renrummene har en vægfinish af høj kvalitet og har belysning med UV-filter. Ved at bruge antistatiske (ESD) materialer og antistatiske stænger på filtersystemet neutraliseres den statiske ladning i luften.

Når afgasning ikke er ønsket, tilbyder BSL et renrum med ikke-afgassende materialer (PU). Denne teknologi stammer fra luftfartsindustrien.

Typiske processer i halvlederindustrien:

● Beskyttelse af substrater og siliciumskiver
● EUV-forskning
● Maskeskinner
● Vakuumbelægning, tyndfilmsaflejring
● Udskrivningsapplikationer
● Optik

Frontend- og backend-processer