BSLtech Semiconductor LØSNING
Udvikling af din ekspertise inden for halvlederindustrien kræver ofte renrum eller laminar flow-skabe med en høj ISO-klasse (ISO 5 eller højere). Har du med UV-følsomme processer at gøre? Allerede da leverer BSL det rigtige renrum. Renrummene har en højkvalitets vægfinish og har belysning med UV-filter. Ved brug af antistatiske (ESD) materialer og antistatiske stænger på filtersystemet neutraliseres den statiske ladning i luften.
Når afgasning ikke ønskes, tilbyder BSL et renrum af ikke-afgassende materialer (PU). Denne teknologi stammer fra rumfartsindustrien.
Typiske processer i halvlederindustrien:
● Beskyttelse af underlag og siliciumskiver
● EUV-forskning
● Mask aligners
● Vakuumbelægning, tyndfilmaflejring
● Udskrivningsapplikationer
● Optik
Front-end og back-end processer