Halvleder

BSLtech Semiconductor LØSNING

Udvikling af din ekspertise inden for halvlederindustrien kræver ofte renrum eller laminar flow-skabe med en høj ISO-klasse (ISO 5 eller højere).Har du med UV-følsomme processer at gøre?Allerede da leverer BSL det rigtige renrum.Renrummene har en højkvalitets vægfinish og har belysning med UV-filter.Ved brug af antistatiske (ESD) materialer og antistatiske stænger på filtersystemet neutraliseres den statiske ladning i luften.

Når afgasning ikke ønskes, tilbyder BSL et renrum af ikke-afgassende materialer (PU).Denne teknologi stammer fra rumfartsindustrien.

Typiske processer i halvlederindustrien:

● Beskyttelse af underlag og siliciumskiver
● EUV-forskning
● Mask aligners
● Vakuumbelægning, tyndfilmaflejring
● Udskrivningsapplikationer
● Optik

Front-end og back-end processer